西尼特（北京）電爐有限公司

CNT石墨烯生長爐是一款專業在銅箔為沉底材料上生長高質量石墨烯的專用設備，通過拓展也可用用于其他二維材料譬如二硫化鉬、碳納米管等的生長，廣泛應用于航空航天、微電子等領域。

石墨烯生長爐主要由銅箔、高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、真空系統、自動化控制系統、冷卻系統等組成。

1、沉底材料采用銅箔；

2、生長腔體采用進口高純石英管，配石英支架、為石墨烯的生長提供潔凈環境；

3、加熱腔體采用進口陶瓷纖維加熱器，均溫區650mm、對開式結構；

4、加熱爐體配有移動滑軌，可左右移動；

5、密封法蘭均采用不銹鋼材質，配水冷套，可連續長時間工作；

6、氣路系統采用三路質量流量計（可拓展多路），配預混系統；

7、真空系統采用機械泵，可選配擴散泵或分子泵機組；

8、控制系統采用10寸觸摸屏加西門子PLC模塊；

9、可選配RF射頻電源模塊

10、氣體種類：N2、H2、CH4

11、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制，通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數，自動保存實驗參數，也可采用手動控制

12、系統采用集成化設計，控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部，占地面積小。整體安裝四個可移動輪子，方便整體移動。