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      三次元測量儀溫度變化也是產生變形的主要因素，量具、儀器和工件在測量前必須有一段時間在規定的溫度范圍內等溫。測量過程中環境溫度波動要小，必須恒定在規定的范圍內；盡可能不直接用手接觸量具、儀器和工件。
      三次元在高精度測量時，還需將人與儀器隔離。如接觸式干涉儀使用時，需用隔離屏將人的呼吸與儀器隔離，操作時帶手套，測量時用導熱系數低的木夾子夾帶工件。對于高等級的量塊、線紋尺陳有很高的環境要求外還要對其溫度進行測量并加以修正。

      由于標準器的溫度和膨脹系數與被測件的溫度和膨脹系數不一致引起的測量誤差，在比較測量時，平面形工件采用球面測頭，圓柱形工件采用刀口或圓柱測頭，因為測量力和接觸的形式不同，影像測量儀對接觸變形的影響也不同，所以在高精度測量時，必須準確選擇測量力和測頭工作面半徑，并在測量結果中進行接觸變形誤差修正。

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