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薄膜測量儀器 >> 薄膜在線監測控制儀器 >> 溫度與薄膜厚度測量監測器

薄膜測量儀器 >> 薄膜在線監測控制儀器 >> 溫度與薄膜厚度測量監測器 產品編號：841482816產品名稱：溫度與薄膜厚度測量監測器規格：產品備注：產品類別：薄膜測量儀器    產品說明Eon-LT?溫度與薄膜厚度測量監測器是一個基于電腦的薄膜厚度監測器，遠遠優于優于傳統的監測器，傳統的監測器無法感知晶體的熱變化。本監測器是把頻率和溫度測量相結合，在實時速率和薄膜厚度監測方面可獲取從來沒有的精度。 為什么要測量溫度？因為加熱過程導致晶體的頻率變化，毫無疑問等于鍍膜引起的頻率變化，對大多數速率測量，在正常操作會存在10%的誤差，最糟糕的情況，會產生100%的誤差。如果你的測量總是出錯，那就是我們為什么要用Eon-LT?溫度測量薄膜厚度監測器來測量。 特點：●附加精密的溫度測量●與最新、直觀的Eon?軟件通信● 與相應的速率和厚度相伴的實時溫度和頻率的測繪圖●支持擋板的接通和斷開● 通信：RS-232，USB，和WiFi● 雙通道擴展能力●包括所有的連接電纜、軟件和操作手冊●驅動晶體6MHz，1-200Ω，任何類型（石英、超級石英）●兩個K型熱電偶輸入，精確到+/-0.25°C●兩個高分辨傳感頭，輸入精度達到0.001Hz●24V電源●工業標準的RS232通信協議●尺寸：4.5英寸x2.5英寸x1英寸●兩個用戶可選的傳輸口●LED狀態指示 技術參數：MeasurementFrequencyResolution0.001HZ@6MHz(1SampleperSecond)SampleRate100Hzto10HzDisplayUpdateRate10Hz-1HzSensorCrystalFrequency6MHzElectronicsTemperature2typeKTCSources20-5VDCsourcecontrolsRelays(non-programmable)2SPSTNOforabort&thicknesssetpointRemotePowerFrontpanelFOBconnectorformanualpowercontrolInputsetupInputscantriggereventsdependingonuserselectedconditionsOutputSetupOutputscanbetriggereddependingonuserselectedconditionsLED(s)DualstatusCommunicationProtocolCommunicationstatusPower-upstatusRS-232DACRecorderEitherorbothsourceoutputscanbeusedasrecorderoutputsParametersUserscalable0-5Voutputforrateandthickness Dimensions4.5”x2.5”x1”OrderingInformationEon-LT?PC-interactivethinfilmmonitor 應用：●原子層沉積(ALD)●化學氣相沉積(CVD)●分子束外延(MBE)●CIGS(薄膜太陽電池)●OLED●多層光學薄膜沉積