無錫市 誠宇冶金設備制造有限公司

藍寶石爐銅電極的加工工藝： 
      ①鍛造藍寶石爐銅電極毛坯
          ②粗加工藍寶石爐銅電極毛坯
          ③加工中心加工寶石爐銅電極冷卻水槽；

    ④寶石爐銅電極精加工，形位尺寸；

    ⑤焊接寶石爐銅電極兩頭及電極桿；

    ⑥寶石爐銅電極漏水試驗；

    ⑦寶石爐銅電極表面鈍化處理；

    ⑧寶石爐銅電極二次漏水試驗；

          ⑨寶石爐銅電極合格成品木箱包裝出廠。

導電電極（走水電極、長晶爐主導電體）

是藍寶石長晶真空爐的重要部件之一，是爐內加熱熱場與爐外電源的連接通道；在爐內與熱場（鳥籠）直接搭接，延伸到爐外的導電柱通過導電夾、軟連接與電源柜連接。

該部件的結構復雜，精度要求高，加工難度較大，主要體現在：

（1）導電柱與爐蓋的結合：

導電電極是在藍寶石長晶真空爐膛內，要穿過爐蓋與外部電源連接，所以電極4個導電柱之間的公差要求非常嚴格，要和爐蓋上的4個孔位距離完全一致。如有誤差將不能裝配。

（2）導電電極在加工過程中變形的問題：

電極是純銅原料加工而成，從原材料到成品，要經過很多道工序，每道工序都會產生應力，故容易變形。尤其是在最后的焊接工序，因為焊接過程產生的熱量會使應力釋放，工件很可能會嚴重變形，精加工的所有公差尺寸都會受到影響，且無法調整。

（3）電機冷卻水的走水密封：

電極的截流能力遠大于導電要求，故導電電極自身不會發(fā)熱，但真空長晶爐內雖有隔熱裝置還有較高的溫度傳導到電極。加熱熱場的電熱絲通過導電環(huán)會直接把熱量傳導到電極。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作，真空長晶爐是高溫高真空的工作環(huán)境才能有效長出晶體。故對電極的主體與導電柱、走水槽、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴格的要求。既不能因焊接降低導電率，又絕對不能有任何細微的滲漏，否則就達不到真空要求，長不出晶體。

我們通過與眾多科研單位的密切合作，參考多家國外公司先進產品的成功經驗，利用國內外的先進設備，攻破了各個環(huán)節(jié)上的技術難題，成功開發(fā)出了藍寶石長晶爐專用電極。