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值得特別指出的是，近年來臭氧對水的處理又拓寬到一個新的領域：臭氧處理冷卻水。據文獻報導，美國七十年代末期已開始這方面的探索和研究。1990年10月第51屆國際水會議上，美國全國水處理公司（National  Water  Management  Corporation）的A、poryor做了一個“臭氧冷卻水處理的特點與經濟性”的報告，介紹了該公司在最近三年的時間里，用臭氧成功地處理了130座冷卻塔，受到熱烈的歡迎。認為，臭氧可以作為唯一的處理藥劑來替代其它的處理冷卻水處理劑，它能阻垢、緩蝕、殺菌、能使冷卻水系統在高濃縮倍數甚至在零排污下運行，從而節水節能，保護水資源；同時，臭氧冷卻水處理不存在任何環境污染。90年3月，在美國辛辛那提召開的"全美腐蝕工程學會年會（NACE）上，討論臭氧冷卻水處理的論文就有七篇，幾乎占了冷卻水處理論文的一半。

單一用臭氧冷卻水處理起源于美國電力研究所（EPRI）、噴氣推進實驗室（IPL）、美國宇航局（NASA）和國際商用機器公司，NASA并由此獲得專利（USP、4127、786）。

NASA在佛羅里達州肯尼迪宇航中心（KSC）進行的臭氧冷卻水處理，從1984年7月20日一直進行到1985年9月19日，共14個月

B工資美國全國水處理公司（National  Water  Management  Corporation）在一個面積為3000  m2的計算機研究大樓空調系統中，用臭氧冷卻水處理一年，比傳統的化學法冷卻水處理純節約費用達45000.00美元。

我國從80年代初期，已開始對飲用水消毒和工業廢水深度處理予以注意，由于種種原因，發展較慢。在臭氧用于脫垢，阻垢滅菌的冷卻水處理方面，還剛剛開始，還沒有一個關于臭氧處理冷卻水的報道。但由于臭氧法處理的經濟性，可靠性及絕對無毒、無二次污染、就地產生等一系列優點，可以預言，臭氧在冷卻水方面的應用普及和廣泛的應用，在我國是指日可待的。

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