廣州譚美電子科技有限公司

603-III 高真空磁控濺射設備

型號：603-III
地點：美國
狀態：AS IS，WHERE IS （我們提供翻新、安裝、保修服務，額外收取合理費用
包裝：賣方負責（如果需要）
保修/退款：無 說明：Inline Sputtering System
真空系統：Cryo Pumped ，Vacuum System CTI CryoTorr 8 with CTI 8500 Series Compressor， Leybold D60A Roughing Pump
Target尺寸：4 3/4" x 14 7/8"
DC陰極數量：3
RF陰極數量：0
RF刻蝕陰極數量：1
工藝氣體數量：1
殘余氣體分析儀：0
DC Power：10.00 kW DC （MRC制造）
RF Generator：1500 Watts（MRC制造）
RF Matching Network：包括
其他信息：Controller:
? Analog closed-loop control and monitored by microcomputer
? Process is fully automatic
? Process parameters are accomplished via keyboard entry and displayed on CRT
Substrate pallet size: 13" x 13"
Pallet carrier: Chain drive. Speed adjustable from 39.3"/min to 120"/min
Quartz substrate heater adjustable to 600 C.
INSET DC cathodes
Facilitiy Requirements
? Water: 4.0 gpm， 70 psig， 60 degrees F
? Air: 70-100 psig， filtered， 1 cfm.
? Sputtering gas: 3-5 psig
動力要求： 208 V 60 Hz 3 Phase
尺寸：
Width 78.000 in (198.1 cm)
Depth 56.000 in (142.2 cm)
Height 72.000 in (182.9 cm)
重量： 2，288 lb (1，038 kg)
如果對此設備有興趣，請郵件聯系我們。
 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產品，公司主要經營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發、濕法工藝設備。

我們擁有廣泛的采購網絡、強大的專業設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產品、優質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經營理念和宗旨，為中國半導體工業、微電子工業、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業提供優質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業的技術、專注的服務，共創雙贏互利的合作關系。

經營產品：

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零件銷售：

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