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紫外線殺菌燈實際上是屬于一種低壓汞燈。低壓汞燈是利用較低汞蒸汽壓（<10-2Pa）被激化而發出紫外光，其發光譜線主要有兩條：一條是253.7nm波長；另一條是185nm波長，這兩條都是肉眼看不見的紫外線。無臭氧的燈管是253.7nm波長的。有臭氧的燈管是在輻射253.7nm紫外線的同時，也輻射一部分185nm紫外線，故可產生臭氧。

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